fs1100系列气体质量流量传感器是专门为各类医用呼吸机气体测量和过程控制而设计的。产品采用本公司自主研发的微机电系统（mems）流量传感芯片来制作，适用于空气、氧气或空氧混合气的测量。成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量计，测量范围最大可到250slpm。